跳转到内容

真空回流炉

维基百科,自由的百科全书

真空回流炉,也叫真空焊接炉。在真空的环境下对产品进行高质量的焊接,在升温或者降温过程中通入还原性系统(N2甲酸、N2H2、H2),用以保护产品和焊料不被氧化,同时将产品和焊料表面的氧化物反应,使得焊接表面质量提高,减小了焊接的空洞率。 

真空回流炉包括以下几个结构:气路、冷却系统、加热系统、真空系统、测量系统:  

  1. 气路:N2有三路:一路通到工艺腔体;一路作为气冷通入冷却管(和水冷一个管道);一路通到真空泵gas ballast,作为提高真空泵压缩比的功能。 H2有一路,通到腔体内。H2Ar有一路,通道腔体内。   
  2. 冷却系统:分为内循环和外循环 内循环:设备内部有个水箱,内装有DI water,通过水泵将水箱里面谁进行循环,用来冷却加热板、法兰、plasma。外循环:客户提供外部冷却水用来冷却水箱。   
  3. 加热系统:包括主加热和边缘加热。
  4. 真空系统:真空泵抽真空流程:将腔体内部气体——主阀——真空泵——管道(通过加热丝)——排风里面。 真空部分有个过压阀,腔体压力过大时会自动打开。   
  5. 测量系统:除了控制加热的TC之外,设备腔体内部还有6组用于测量工件温度的TC。便于实验所需要。